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『簡體書』高端光刻机像质检测技术（上册）

書城自編碼： 3615029
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→機械/儀表工業
作者： 王向朝等
國際書號(ISBN)： 9787030673541
出版社： 科学出版社
出版日期： 2021-04-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开 釘裝： 精装

售價：HK$ 310.0

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內容簡介：
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

 

 

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